الألومينا السيراميك الطبطبات الكهروستاتيكية الألومينا خراطيش فراغ مخصص السيراميك أشباه الموصلات الطبطبات الكهروستاتيكية

خراطيش تفريغ السيراميك من الألومينا مصنوعة من الألومينا عالية النقاء (alo₃ ، عادة5٪أو أعلى) سيراميك وميزة العديد من المسام الصغيرة على سطحها ، إما مسطحة أو على شكل مخصص. هذه المسام الدقيقة ، من خلال الضغط الفراغي ، تحمل قطع العمل (مثل رقائق السيليكون ، وركائز الزجاج ، والمكونات الإلكترونية) في مكانها للمناولة ، وتحديد المواقع ، والمعالجة ، أو الفحص.

هذا التركيب الأساسي ، خاصة في التصنيع الدقيق الفائق ، مهم بشكل خاص في صناعات أشباه الموصلات ولوحة العرض. يوضح تمامًا كيف يمكن لخصائص مواد سيراميك الألومينا حل تحديات صناعية محددة. يتم استخدام المعالجة بالموجات فوق الصوتية أو بالليزر لإنشاء نمط مرتب بانتظام من المسام الدقيقة للغاية على صفيحة سيراميك الألومينا الكثيفة. هذا هو الشكل الأكثر شيوعًا ، حيث يوفر أعلى دقة وقابلية تحكم ممتازة.

الخصائص المادية لسيراميك الألومينا تجعله اختيارًا مثاليًا لخراطيش التفريغ:

1. صعبة للغاية ومسطحة:
مع صلابة فيكرز> 1600 HV ، فهي مقاومة للاهتراء للغاية ولا تخدش بسهولة بواسطة قطعة العمل. يمكن تحقيق التسطيح العالي للغاية وصولاً إلى مستوى النانومتر (نانومتر) من خلال الطحن الدقيق. هذا أمر بالغ الأهمية لعمليات مثل الطباعة الحجرية لأشباه الموصلات ، لأن أي مخالفات على السطح يتم تكرارها مباشرة على الرقاقة.

2. ممتازة مقاومة درجات الحرارة العالية:
يمكنه تحمل درجات حرارة التشغيل طويلة الأجل حتى 1500 درجة مئوية. هذا يعني أنه يمكن استخدامه مباشرة في العمليات التي تتطلب الحرارة ، مثل ترسب الطبقة الرقيقة شبه الموصلة (CVD/PVD) والنقش ، دون تشوه أو تدهور.

3. الاستقرار الكيميائي الممتاز:
إنه مقاوم للأحماض القوية والقواعد القوية والمذيبات العضوية المختلفة ، ولن يصدأ أبدًا. يمكنه تحمل عمليات التنظيف المتكررة والقاسية (بما في ذلك تنظيف البلازما) المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات ، مما يضمن عمر طويل للغاية.

4. تلوث منخفض للغاية (درجة نقاء عالية):
سيراميك الألومينا عالي النقاء لا تنبعث منه أيونات معدنية أو ملوثات جسيمات. هذا أمر ضروري للصناعات شبه الموصلات والبصرية ، حيث النظافة أمر بالغ الأهمية ، ومنع تلوث المنتج.

5. الأداء الحراري الممتاز:

• يتميز بمعامل تمدد حراري منخفض وثبات حراري ممتاز ، ويحافظ على ثبات الأبعاد أثناء التدوير الحراري ويضمن دقة تحديد المواقع.
• يمكن دمج السخانات أو قنوات التبريد وفقًا للتصميم لتحقيق تحكم دقيق في درجة حرارة قطعة العمل.

6. هيكل مسامي قابل للتخصيص:
من خلال الآلات الدقيقة أو عمليات التشكيل ، يمكن إنشاء مسام امتزاز بأحجام مسامية تتراوح من بضعة ميكرون إلى عدة مئات من الميكرونات لاستيعاب قطع العمل ذات الأوزان والأحجام المختلفة وخصائص السطح.

خراطيش تفريغ سيراميك الألومينا هي تركيبات أساسية في صناعات التصنيع عالية التقنية التالية:
1. تصنيع أشباه الموصلات (التطبيق الأكثر أهمية)

• آلات الطباعة الضوئية (السائر/الماسحات الضوئية): تستخدم لحمل رقائق السيليكون وتأمينها ، فهي تتطلب تسطيحًا وثباتًا عاليًا للغاية (لمنع ارتعاش مستوى النانومتر).
• ترسب الأغشية الرقيقة (CVD/PVD) ، وزرع الأيونات ، والحفر: يستخدم داخل غرف التفاعل لهذه الأجهزة لحمل رقائق الحرارة في كثير من الأحيان لتحقيق نتائج عملية موحدة.
• التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP): يستخدم لعقد رقائق التلميع.

2. تصنيع شاشة العرض المسطحة (FPD): تستخدم لحمل ونقل قطع العمل الكبيرة والرقيقة والهشة مثل الركائز الزجاجية وألواح OLED.

3. تجميع الإلكترونيات الدقيقة: تستخدم في آلات وضع SMT ، والترابط في القوالب ، وغيرها من المعدات لعقد ووضع الكلور بدقة ، أو ركائز السيراميك الصغيرة ، أو الرقائق العارية.

4. المعالجة البصرية والليزر: تستخدم لعقد قطع العمل مثل العدسات ، المنشور ، والرقائق لالقطع، طحن ، والطلاء.