Применения плит глинозема керамических с множественными отверстиями весьма разнообразны, почти полностью определенные их диаметром отверстия и представлением:
1. Как распределители и диффузоры
Применения: Использованный как душевые лейки распределения газа в
ПолупроводникПроизводственное (CVD, PVD, оборудование для травления) и фотоэлектрическое (LPCVD) оборудование.
Функция: Равномерно и плавно впрыскивает реактивные газы (такие как силан и нитрид водорода) в реакционную камеру через бесчисленные микропоры, образуя однородную плазму. Это ключевой компонент для формирования однородных тонких пленок (таких как SiO₂ и Si3N4). Поры должны быть очень точными и очень чистыми.
2. В качестве фильтра и разделителя
Приложения:
-
Фильтрация расплавленного металла: в литейной промышленности он используется для фильтрации включений и шлаков из расплавленного алюминия, меди и чугуна, что значительно улучшает качество литья.
-
Химическая фильтрация: используется для фильтрации агрессивных химикатов и катализаторов.
-
Высокотемпературное удаление пыли дымовых газов: служит компонентом фильтра сердечника, улавливая частицы пыли.
Функция: Использует различные размеры пор для того чтобы преградить частицы специфических размеров и очистить средство.
3. В качестве крепежной и опорной пластины
Приложения:
-
Catalyst Carrier: Покрытие катализаторов на керамических пластинах с несколькими порами для очистки автомобильных выхлопных газов или промышленных химических реакторов. Большая площадь поверхности обеспечивает обильные места реакции.
-
Setter спекания: используется для поддержки продуктов в печах спекания для электронной керамики и литиевых батарей материалов. Отверстия облегчают циркуляцию горячего воздуха, обеспечивая более равномерный нагрев.
-
Вакуумные патроны:В производстве полупроводниковых и плоских дисплеев вакуумное давление используется для закрепления кремниевых пластин и стеклянных подложек через микропоры, обеспечивая плоскую и безупречную поверхность.
4. Как огнестойкая и дышащая пластина.
Применение: Используется в предохранительных клапанах аккумуляторов и корпусах электрооборудования.
Функция: Позволяет внутреннему газу медленно выходить при повышении давления, предотвращая взрывы, а также блокируя попадание внешнего пламени, обеспечивая взрывозащищенные и огнестойкие свойства.
5. Как акустический и теплоотвод
Применение: Используется в диафрагмах динамиков для высококачественного аудиооборудования и глушителях для промышленного оборудования.
Функция: Своя пористая структура помогает в кондукции или амортизации звуковых волн. Кроме того, множественные отверстия в структуре облегчают рассеивание тепла.