صواني رقاقة سيراميك ألومينا من السيراميك بمقاس مخصص ركائز رقاقة سيراميك الألومينا مقاس 8 بوصات

99 ٪ صواني رقاقة سيراميك الألومينا مصنوعة من مادة السيراميك الألومينا (aloفيس) مع نقاء أكثر من٪، يتم تشكيله بدقة للاستخدام في العمليات ذات درجة الحرارة العالية والمطالبة لدعم ونقل رقائق السيليكون أو الركائز الأخرى (مثل كربيد السيليكون والزرنيخ الغاليوم).

تعتبر صواني رقاقة السيراميك الألومينا مكونات دقيقة حاسمة في المجالات الراقية مثل تصنيع أشباه الموصلات ، الضوئية ، والإلكترونيات الدقيقة.

يعتبر سيراميك الألومينا من المواد المفضلة لصواني الويفر (wafer trays) وفقًا لأدائها العام الفائق:

• نقاء عالي للغاية وخمول كيميائي: يمنع تلوث رقائق حساسة أثناء عمليات درجات الحرارة العالية (مثل الانتشار والأكسدة وcvd) ، وضمان نظافة العملية.
• استقرار ممتاز في درجات الحرارة العالية: يمكن أن تعمل بشكل مستمر في درجات حرارة أعلى من 1600 درجة مئوية دون تشوه أو تطاير ، مما يجعلها مناسبة بشكل خاص لعمليات درجات الحرارة العالية للغاية مثل نمو الكريستال والصلب.
• القوة الميكانيكية المتميزة والصلابة: يمكن أن تحمل وزن الويفر والضغوط الميكانيكية المتكررة عالية السرعة ، ومقاومة الانحناء أو الكسر.
• معدل إطلاق الغازات منخفض للغايةفي بيئات الغاز الخامل أو الفراغية ، لا تطلق أي جزيئات غاز تقريبًا ، مما يمنع التداخل مع الغلاف الجوي للعملية.
• مقاومة الصدمات الحرارية جيدة: يمكنه تحمل عمليات التسخين والتبريد السريعة (على الرغم من أنه أضعف قليلاً من نيتريد الألومنيوم أو كربيد السيليكون ، فإنه يلبي بشكل عام معظم متطلبات المعالجة).
• صلابة عالية ومقاومة التآكل: سطح ناعم ، لا يتم خدشه بسهولة بواسطة الجسيمات ، مما يضمن المتانة.
• عزل ممتاز: عزل تام ، مناسب للعمليات التي تتطلب العزل الكهربائي.

• تصنيع رقاقة أشباه الموصلاتدعم الرقاقات في أفران الانتشار وأفران الأكسدة و lpvd (ترسيب البخار الكيميائي منخفض الضغط).
• تصنيع جهاز الطاقة: عمليات النمو الفوقي والتليين ذات درجة الحرارة العالية لمواد أشباه الموصلات ذات الفجوة العريضة مثلكربيد السيليكون(SiC) ونيتريد الغاليوم (GaN).
• صناعة الضوئية: عمليات الطلاء والتليين ذات درجة الحرارة العالية للخلايا الشمسية (خاصة الخلايا من النوع N) مثل PERC و TOPCon.
• تصنيع MEMS (الأنظمة الميكانيكية والكهربائية الدقيقة): مختلف عمليات ترسيب وحفر الأغشية الرقيقة.
• صناعة الصمام: النمو الفوقي على ركائز الياقوت.

تعد صواني رقاقة سيراميك الألومينا بنسبة ٪ الأبطال المجهولين في مجالات تصنيع أشباه الموصلات وعالية الجودة. بفضل ثباتها الممتاز في درجات الحرارة العالية ، وخمول المواد الكيميائية ، وفعالية التكلفة العالية ، أصبحت اختيارًا موثوقًا لدعم المكونات المهمة في العمليات ذات درجات الحرارة العالية. على الرغم من أنها ليست فعالة مثل نيتريد الألومنيوم وكربيد السيليكون الأكثر تكلفة من حيث تبديد الحرارة الشديد والمطابقة الحرارية ، فإن أدائها الشامل قد ضمنتها أكبر حصة في السوق ، مما يجعلها التكوين القياسي والعالمي لمختلف أنواع المنتجاتأنبوب الفرنمعدات.