Aduana substratos de cerámica de la oblea del alúmina de 8 pulgadas

Las bandejas de obleas de cerámica de alúmina al 99% están hechas de material cerámico de alúmina (Al₂O₃) con una pureza de más deEl 99%, Mecanizado con precisión para su uso en procesos exigentes y de alta temperatura para soportar y transportar obleas de silicio u otros sustratos (como carburo de silicio y arseniuro de galio).

Las bandejas de cerámica de la oblea del alúmina son componentes cruciales de la precisión en campos de gama alta tales como semiconductor, fotovoltaico, y fabricación de la microelectrónica.

La cerámica de alúmina al 99% es un material preferido para las bandejas de obleas debido a su rendimiento general superior:

• Pureza extremadamente alta e inercia química: Evita la contaminación de obleas sensibles durante procesos de alta temperatura (como difusión, oxidación y CVD), asegurando la limpieza del proceso.
• Excelente estabilidad a altas temperaturasPuede funcionar continuamente a temperaturas superiores a 1600 ° C sin deformación o volatilización, lo que lo hace particularmente adecuado para procesos de temperatura ultra alta como el crecimiento de cristales y el recocido.
• Excelente resistencia mecánica y rigidez: Puede soportar el peso de la oblea y repetidos tensiones mecánicas de alta velocidad, resistiendo la flexión o la rotura.
• Tasa de desgasificación extremadamente bajaEn entornos de vacío o gas inerte, casi no libera moléculas de gas, evitando interferencias con la atmósfera del proceso.
• Buena resistencia al choque térmicoPuede soportar procesos rápidos de calentamiento y enfriamiento (aunque ligeramente más débil que el nitruro de aluminio o el carburo de silicio, generalmente cumple con la mayoría de los requisitos del proceso).
• Alta dureza y resistencia al desgaste: Superficie lisa, no fácilmente rayado por las partículas, asegurando durabilidad.
• Excelente aislamiento: Totalmente aislante, adecuado para procesos que requieren aislamiento eléctrico.

• Fabricación de chips semiconductoresSoporte de obleas en hornos de difusión, hornos de oxidación y LPCVD (deposición de vapor químico a baja presión).
• Fabricación de dispositivos de potenciaProcesos de recocido y crecimiento epitaxial a alta temperatura para materiales semiconductores de banda ancha comoCarburo de silicio(SiC) y nitruro de galio (GaN).
• Industria fotovoltaicaProcesos de recubrimiento y recocido a alta temperatura para células solares (especialmente células de tipo N) como PERC y TOPCon.
• Fabricación de MEMS (sistemas microelectromecánicos)Varios procesos de deposición y grabado de película delgada.
• Industria del LED: Crecimiento epitaxial sobre sustratos de zafiro.

Las bandejas de cerámica de la oblea del alúmina del 99% son los héroes anónimos en el semiconductor y los campos de fabricación de gama alta. Con su excelente estabilidad a altas temperaturas, inercia química y alta rentabilidad, se han convertido en una opción confiable para soportar componentes críticos en procesos de alta temperatura. Aunque no es tan eficiente como el nitruro de aluminio y el carburo de silicio más caros en términos de disipación de calor extremo y adaptación térmica, su rendimiento integral les ha asegurado la mayor cuota de mercado, convirtiéndolos en la configuración estándar y universal para variosTubo de hornoEquipo.